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当前热文：天准科技：Muetec掩膜检测设备已可覆盖65-90nm工艺 目前尚未达到EUV掩膜检测设备精度
2023-05-30 05:45:31  来源： 界面新闻  
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(资料图)

天准科技5月29日在互动平台表示，Muetec的掩膜检测设备已经可以覆盖65-90nm工艺，目前尚未达到EUV掩膜检测设备的精度。

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